氮化硅陶瓷基板憑借其自身出色的絕緣、耐高溫、抗電擊穿等性能，在電子電器、機械設備、汽車等領域占有非常重要的地位，而陶瓷片能否正常使用就取決于其精度高低與否。由于陶瓷自身的硬度較高，且氮化硅陶瓷基板的厚度較薄，使得其十分脆弱，稍有不慎就會導致基板斷裂致使產(chǎn)品功能缺失，各個測量項目當中氮化硅陶瓷基板的平面度測量尤為棘手。氮化硅陶瓷基板無論是流延法還是干壓法都需要經(jīng)過燒制才能真正的完成制備，而燒結(jié)時候的溫濕度變化、材料特性等等掌握不好就會致使基板平面度超出標準，后續(xù)安裝時候都會受阻，分散壓力的性能也會隨之降低，建議使用激光平面度測量儀進行氮化硅陶瓷基板的平面度測量。

上面說過氮化硅陶瓷基板較薄容易斷裂，如果還是使用百分表、塞尺一類工具施以外力陶瓷基板就會很容易斷裂，海科思激光平面度測量儀屬于非接觸式測量，保護氮化硅陶瓷基板免受劃痕或者斷裂等瑕疵的困擾。多激光平面度測量儀可以一次多片快速測量，高精度無損測量的同時還具有快速的特性，緩解工廠的生產(chǎn)壓力。除此之外，還可實現(xiàn)對平面的多點掃描或線掃描，一次性數(shù)據(jù)采集后通過軟件計算，實時給出平面度平整度、翹曲度誤差測量判定，將人性化與智能直接展現(xiàn)在陶瓷片平面度的測量上。

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