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硅錠直徑高精度測(cè)量,高效提升晶圓生產(chǎn)速度|自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x

文章出處:網(wǎng)責(zé)任編輯:作者:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-03-01 22:28:00

硅片的制備從晶體生長(zhǎng)開(kāi)始,形成單晶錠后經(jīng)過(guò)修整和磨削再切片,再經(jīng)過(guò)邊緣打 磨、精研、拋光等步驟后,最后檢查得到的硅片是否合格。鑄錠的直徑直接影響了硅片的尺寸,所以硅錠的直徑要求非常嚴(yán)格,如果還是使用常規(guī)的卡尺、卷尺等工具對(duì)硅錠的直徑進(jìn)行測(cè)量,那么測(cè)量精度的要求無(wú)法達(dá)標(biāo)不說(shuō),對(duì)于硅錠的直徑均一性更是保證不了。常規(guī)的測(cè)量工具在測(cè)量硅錠的直徑會(huì)有可能因?yàn)椴僮鞑簧鲗?dǎo)致硅錠被劃傷,后續(xù)的廢片率就會(huì)提升,所以硅錠測(cè)量直徑需要一個(gè)無(wú)損高效率高精準(zhǔn)的測(cè)量工具,??扑加跋駵y(cè)量?jī)x是測(cè)量硅錠的理想測(cè)量設(shè)備。

全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x在測(cè)量時(shí),僅需將硅錠放在工作臺(tái)上,就能在電腦畫(huà)面上進(jìn)行影像測(cè)量,不用擔(dān)心會(huì)磨損硅錠表面,測(cè)量精度達(dá)到μm級(jí)擺脫因?yàn)闇y(cè)量精度不高的困擾。硅圓影像測(cè)量?jī)x操作也相當(dāng)方便,軟件內(nèi)測(cè)量功能應(yīng)有盡有,讓測(cè)量硅錠直徑、平行度等數(shù)據(jù)得心應(yīng)手,測(cè)量結(jié)果不受人為操作影響,效率高且保證了不同操作人員都能達(dá)到同樣的測(cè)量精度。軟硬件多方位兼顧,超高性?xún)r(jià)比,省時(shí)省力。??扑纪亩扔跋駵y(cè)量?jī)x有技術(shù)團(tuán)隊(duì)提供技術(shù)支持,無(wú)論是售前還是售后都能提供服務(wù)。

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