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玻璃晶圓厚度激光測量,實(shí)時(shí)出結(jié)果更方便|激光厚度測量儀

文章出處:網(wǎng)責(zé)任編輯:作者:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2022-08-23 22:20:00

玻璃晶圓因?yàn)槠鋼碛袃?yōu)越的透光性、極低的熒光強(qiáng)度,極低的膨脹系數(shù)、抗熱沖擊性強(qiáng),極佳的化學(xué)穩(wěn)定性,極佳的抗刮花效果,極低的含堿量,使得其應(yīng)用于各類高新行業(yè)。玻璃晶圓由于其材質(zhì)特性擁有極高的硬度,也代表玻璃晶圓的脆性非常大,使得測量玻璃晶圓的外形尺寸十分困難,因?yàn)樯杂胁簧骶蜁?huì)導(dǎo)致其表面留下劃痕等瑕疵,無法進(jìn)行后續(xù)的工序。玻璃晶圓有一項(xiàng)十分重要的外形尺寸,該項(xiàng)尺寸的測量精度同樣影響后續(xù)加工,這就是厚度均勻性,一般的厚度測量工具都需要對玻璃晶圓的表面施加應(yīng)力來獲得數(shù)據(jù),該類傳統(tǒng)的接觸式測量工具不單單會(huì)容易對晶圓表面留下瑕疵,測量的精度還無法滿足晶圓產(chǎn)業(yè)的檢測需求,所以上下激光厚度測量儀才是測量玻璃晶圓厚度數(shù)據(jù)的理想選擇。

雙激光厚度測量儀無需接觸到玻璃晶圓表面更不會(huì)對其表面施加壓力來測量,僅需要將晶圓放置在測量臺(tái)就能實(shí)時(shí)的獲得高精度厚度數(shù)據(jù),還不會(huì)劃傷晶圓表面,是一個(gè)省時(shí)省力的高精度測量設(shè)備。激光測厚儀操作簡單無需培訓(xùn)既能輕松操作,無論是抽檢還是全檢都能高效率的完成,設(shè)備體積小、質(zhì)量輕、方便攜帶,可連接電腦測量數(shù)據(jù)可輸出到表格方便后續(xù)查閱,是晶圓生產(chǎn)企業(yè)不可多得的得力測量助手。

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