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快速晶圓厚度測量,實時發(fā)現晶圓厚度不均

文章出處:網責任編輯:作者:人氣:-發(fā)表時間:2020-08-18 17:03:00

晶圓是芯片光刻的基材,每一步的工序都會直接影響到芯片質量,晶圓厚度測量能檢測出晶圓的表面氧化層研磨厚度不均、拋光均勻度不足等問題,也能杜絕因為厚度不均導致的封裝缺陷。晶圓片的厚度標準以8寸舉例,為加工之前的厚度標準為725um,為的是在運輸的過程中不會因為過薄而整張晶圓片碎裂,晶圓在封裝加工時會再次進行研磨,根據工作環(huán)境以及安全需求進行厚度的調整,每個環(huán)節(jié)都需要測量檢驗晶圓的厚度是否達標。晶圓的厚度公差值都是以um計算的,一般的測量工具無法完成對晶圓厚度的高精度測量,加上晶圓表面要求的光潔度十分之高,測量晶圓厚度比較好的方法就是使用雙激光厚度測量儀

??扑技す夂穸葴y量儀采用上下激光測量系統(tǒng),屬于非接觸式測量不會在晶圓表面留下瑕疵,整個操作流程非常簡單,只要把晶圓放在測量區(qū)域就能瞬間自動測量,測量速度快、操作簡單,不用的培訓就可以輕松的完成晶圓的厚度測量。上下激光厚度測量儀的體積非常小,加上質量輕,一只手就可以完成托舉方便攜帶,可以在不同的生產車間隨意移動擺放,對于晶圓這類多個工序皆需要測量厚度的產品適合不過了。

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